杜然中国

物理化学性质: 在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，沸点: -128℃，熔点: -183.6℃。液体密度1.613g/cm3(-130℃)，临界温度-45.67℃，临界压力: 3.74Mpa，介电常数: 1.0006(25℃,0.5Mpa)。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。

用途: 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

包装运输: 四氟化碳对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。

四氟化碳产品质量标准

项目	单位	公司标准
纯度　CF4	%	≥99.0	≥99.9	≥99.99
氮气　 N2	v/v	≤4000	≤350	≤40
氧气　 O2	v/v	≤2000	≤350	≤20
水分　H2O	m/m	≤8	≤5	≤1
一氧化碳　CO	v/v	≤100	≤20	≤10
二氧化碳 CO2	v/v	≤1000	≤80	≤10
酸度 (以HF计)	m/m	≤0.5	≤0.5	≤0.1
其它氟碳化合物 F-C	v/v	实测	实测	≤10
六氟化硫　 SF6	v/v	实测	≤50	≤5
总杂质	v/v	≤10000	≤1000	≤100