杜然中国

物理化学性质: 在常温常压下，三氟化氮为无色，无臭，性质稳定的液化气体，沸点: -129摄氏度，熔点: -206.8摄氏度，高纯三氟化氮几乎没有气味，它是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350摄氏度左右可离解成为二氟化氮和氟气，故其反应性相似于氟。三氟化氮用作氧化剂时，在发生反应的同时，可作为二氟化氮游离基的供给源。

用途: 三氟化氮主要用途是用作氟化氢－氟化氘高能化学激光器的氟源，在H2-O2与F２之间反应能的有效部分（约25％）可以以激光辐射释放出，所以HF-DF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。

包装运输: 三氟化氮的低于70摄氏度时对钢，铜，镍，铝，不锈钢等金属不腐蚀，因此可用钢质无缝钢瓶盛装，按危险品运输。

安全及防护: 由于三氟化氮有毒，在空气中的允许含量临界极限为29mg/cm3，又由于三氟化氮基本无气味，因此在生产，包装，储运中必须佩带必要的安全防护用品和配置相应的监测仪器，确保现场通风良好。

三氟化氮产品质量标准

项目	公司标准
三氟化氮(NF3), 10-2 (体积分数) (v/v) ≥	99.5	99.9	99.98	99.99	99.996
四氟化碳(CF4), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	1500	500	100	50	20
氮(N2), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	700	50	10	10	5
氧加氩(O2+Ar), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	700	50	10	5	3
一氧化碳(CO), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	50	10	10	5	1
二氧化碳(CO2), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	25	10	10	5	0.5
氧化亚氮(N2O), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	50	10	10	5	1
六氟化硫(SF6), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	50	50	10	5	2
可水解氟化物(以HF计) 或总酸度, 10-6 (体积分数)(v/v) ≤	1	1	1	1	1
水(H2O), 10-6 (体积分数) (v/v) ≤	1	1	1	1	1